Studium des Chemie-Ingenieurwesens an der TH-Karlsruhe. Diplomarbeit und Doktorarbeit mit Themen zur angewandten Kernverfahrenstechnik im Bereich der „Chemie und Technologie des Uranhexafluorid“ am Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) des Kernforschungszentrums Karlsruhe.
Promotion zum Dr.-Ing. an der Fakultät für Maschinenbau der Universität Karlsruhe. Habilitation zum Dr.-Ing. habil. mit Themen der BioMEMS (Bio-Micro-Electro-Mechanical-Systems) und Verleihung der Venia Legendi für das Gebiet „Mikrosystemtechnik“ an der Fakultät für Maschinenbau der Universität Karlsruhe.
Bis August 2021 Leiter der IMT-Abteilung “Smart Nano and Microsystems” sowie langjähriger Leiter der IMT-Arbeitsgruppe „BioMEMS – Biomedizinische Mikrotechnik“ am Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) des KIT Campus Nord.
Außerplanmäßige Professur für das Fachgebiet BioMEMS am KIT Campus Süd. Durchführung von mehreren Lehrveranstaltungen zu den BioMEMS. Betreuung von ca. 300 studentischen Abschlussarbeiten sowie von 21 Doktorarbeiten an der Universität Karlsruhe und am KIT.
Zeitgleich Dozent am Institut für Werkzeugmaschinen und Fertigung (IWF) am Department of Mechanical and Process Engineering der ETH-Zürich (Schweiz).
Expertise und Fachwissen:
- Umfangreiche Expertise auf den Gebieten der BioMEMS und der Mikrosystemtechnik sowie in möglichen Anwendungsgebieten in den Bereichen der Life-Sciences und der Biomedizintechnik
- Konzepterstellung für angepasste Versuchsaufbauten mit BioMEMS-basierten Systemen
- Umfangreiche Expertise in der Handhabung und im sicheren Umgang mit halogenhaltigen Gasen, welche z.B. zum Ätzen von Silizium und seinen Verbindungen (SiO2, Si3N4 und SiOxFy) eingesetzt werden können
- Fachwissen zu Aspekten der Entsorgungsproblematik von hochtoxischen Abgasmischungen aus RIE- und PECVD-Anlagen
- Expertise in der Vakuumtechnik im Bereich der Silizium-Ätztechnik mittels RIE-Technik und der Vakuumbeschichtungen mittels PECVD-Technik